氨分解制氢带纯化装置
    (HBAQ系列)

变压吸附制氮装置
    (HBFD系列)

膜分离制氮装置(HBM系列)

氮气纯化装置(HBDC系列)
氢气纯化装置(HBQC系列)


有热气体纯化装置
    (HBFC系列)

无热气体纯化装置
    (HBWY系列)

变压吸附制氢装置
    (HB(PSA)-HZ系列)

气体回收装置(HBQW系列)

保护气站系统

催化剂、吸附剂及配件




气体回收装置(HBQW系列)
   气体回收纯化装置是对区熔单晶硅炉排除出的气体进行回收装置，通过压缩机稳压器进入气体纯化装置进行纯化处理，使气体纯度达到99.999%以上。
    气体回收装置一般按照用户要求，以非标准型号提供，其处理后纯度在99.999%以上。
    气体回收装置是对氢气、氩气和氦气进行回收再利用，采用该系列装置是一项降低生产成本，节约能源，提高提高经济效益的有力措施。
    氢气回收装置主要用于钨钼待业还原工序排出的废氢，收集废氢后进入预处理系统，经增压后由冷却器冷却，汽水分离器分离水份，然后进入纯化装置主体部分，对氢气进行精制处理，经处理后的氢气中含氧量≤5ppm,H2O≤10ppm。氢气回收装置分为中压回收和常压回收，中压回收氢气的增压由压缩机进行，而常压回收则由罗茨风机来完成。

::气体回收装置工艺流程图：


 
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